Thành phần hóa học: thường được làm bằng hợp kim zirconium (Zr) hoặc zirconium nguyên chất (như hợp kim zirconium-hafnium Zr-Hf).
Dạng kết cấu: Các dạng phổ biến bao gồm mục tiêu tròn và mục tiêu hình chữ nhật.
Độ chính xác kích thước: yêu cầu độ chính xác kích thước và độ hoàn thiện bề mặt cao.
Mật độ: Cần có mật độ cao để đảm bảo độ ổn định và chất lượng màng trong quá trình phún xạ.
Chất lượng bề mặt: Bề mặt phải mịn, không có vết nứt, không có lỗ chân lông và tạp chất rõ ràng.
Hiển thị hình ảnh chi tiết sản phẩm mục tiêu zirconium
mục tiêu phún xạ kim loại zr
Giá mục tiêu phún xạ zirconi
